unitate de pompă de vid cu șurub roots pentru fabricarea semiconductorilor

Unitatea de pompare a vidului cu șurub Roots constă din pompa de vid Roots și pompa de vid cu șurub, care este conectată în serie pentru a realiza o funcție de pompare eficientă și este unul dintre echipamentele importante pentru producția industrială și experimentul de cercetare științifică.

Descriere

Grupul de pompe de vid cu șurub Roots combină punctele forte ale pompelor Roots și ale pompelor cu șurub, oferind o soluție de vid curată, eficientă și fără ulei pentru aplicații industriale și de laborator solicitante. Cu un design de etanșare cu spațiu liber și fără ulei lubrifiant, aceste pompe mențin o puritate ridicată și o performanță excepțională pe tot parcursul funcționării.

Principiul de funcționare al pompei de vid cu șurub Roots

  • Pompă de vid cu șurub (pre-stadiu):Funcționează ca pompă de pre-stadiu, asigurând viteze de pompare ridicate și presiune de evacuare scăzută. Compresia mecanică prin intermediul spațiilor precise dintre șuruburi asigură o funcționare eficientă, silențioasă și cu vibrații reduse.
  • Pompă de vid Roots (principală/intermediară):Rotoarele duble cu rotație sincronă transferă gazele de evacuare de la aspirație la camera de evacuare. Etanșarea interstițiilor previne contaminarea cu ulei, menținând un mediu de vid curat.
  • Funcționare în serie:Ambele pompe funcționează în serie, pompa cu șurub îmbunătățind nivelul de vid, iar pompa Roots asigurând o eficiență de pompare stabilă și continuă.

Avantaje de performanță

  1. Economisire de energie:Raportul optimizat dintre viteza de pompare și gradul de vid reduce consumul de energie, depășind sistemele de vid tradiționale în ceea ce privește eficiența energetică.
  2. Eficiență ridicată:Atinge o eficiență de pompare de peste 90%, oferind niveluri ridicate de vid cu consum redus de energie pentru diverse procese.
  3. Protecție de siguranță:Sistemul avansat de control cu pornire/oprire automată, protecție la suprasarcină, supracurent și întreruperea apei asigură stabilitate pe termen lung.
  4. Design compact:Structura de stivuire verticală sau pe scară minimizează amprenta, ideală pentru fabrici și laboratoare cu spațiu limitat.
  5. Configurație flexibilă:Raport reglabil al vitezei de pompare între pompe (1:2 până la 1:8) pentru a se adapta la diverse cerințe de lucru.
  6. Performanță anti-coroziune:Suprafețele de revărsare sunt tratate sau realizate din materiale rezistente la coroziune, potrivite pentru extragerea gazelor corozive și funcționarea în medii dificile.

Domenii de aplicare

  • Industria chimică:Extracția solvenților organici volatili, a gazelor și pentru utilizarea în reactoare în vid – utilizate în mare măsură în procesele chimice și farmaceutice.
  • Fabricarea semiconductorilor:Sprijină procesele de depunere, curățare și gravură în vid.
  • Industria alimentară:Esențială pentru procesele de ambalare, deshidratare și uscare în vid a alimentelor.
  • Industria metalurgică:Extrage gazul din cuptoarele și laboratoarele metalurgice pentru a stabiliza procesele de topire.
  • Laborator și cercetare științifică:Ideal pentru experimente în vid și recuperarea gazelor în medii științifice.
  • Industria electronică:Utilizat în fabricarea circuitelor integrate, acoperirea în vid a ecranelor și alte procese de fabricație electronică.